一种基于神经网络的电子束邻近效应矫正方法

摘要

本发明属于计算光刻领域，公开了一种基于神经网络的电子束邻近效应矫正方法。本发明首先通过任意一种邻近效应剂量矫正方法，对设计的训练版图进行剂量矫正，然后将调整神经网络参数，将该训练版图按照规定输入方式进行神经网络训练，训练得到一个自适应性的神经网络，最终按照规定输入方式预测任意曝光版图矫正剂量。本发明实现了基于神经网络的电子束邻近效应矫正，解决了电子束曝光的邻近效应矫正计算，在确保高精度矫正的基础上，对矫正的计算效率极大提升，具有高计算精度、高计算效率等特点。