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探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法

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提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括：支承基板(3)；包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4)；配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5)；多个加热器(6)。在探针卡(1)中，通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域，各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置，使用该检查装置进行被检查体的检查。

著录项

公开/公告号CN107526018B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-13

原文格式PDF
申请/专利权人日本麦可罗尼克斯股份有限公司;
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申请/专利号CN201710475946.7
发明设计人齐藤祐贵;深见美行;清藤英博;
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申请日2017-06-21
分类号G01R31/28(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人杨宏军;李文屿
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 11:39:16

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