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用于加热器的热动态响应感测系统

摘要

本发明公开了一种加热器系统,其包括加热器组件、成像装置以及控制系统。该加热器组件包括多个加热区域。成像装置获取该加热器组件的图像。该控制系统基于热图像来确定多个加热区域中的变化。

著录项

  • 公开/公告号CN107078082B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-04-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 沃特洛电气制造公司;

    申请/专利号CN201580058429.9

  • 发明设计人 路易斯·P·辛德豪尔;

    申请日2015-10-28

  • 分类号H01L21/67(20060101);H05B1/02(20060101);H05B3/22(20060101);

  • 代理机构11111 北京市万慧达律师事务所;

  • 代理人朱凤成;白华胜

  • 地址 美国密苏里州

  • 入库时间 2022-08-23 11:38:45

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