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岳瑞峰; 董良; 刘理天;
清华大学微电子学研究所,北京,100084;
多晶锗硅薄膜; 测辐射热计; UHVCVD; 热敏材料;
机译:使用多晶硅锗膜(pm-Si_xGe_y:H)作为热敏材料的微辐射热计制造工艺
机译:等离子体制备的用于非制冷微辐射热计的热敏硅锗硼薄膜
机译:暗锗搜索中低温锗测辐射热计的电荷收集不完全和卢克效应
机译:硅锗合金多晶层,用于非冷却红外测辐射热计
机译:用于在毫米和亚毫米波长混合的2DEG测微辐射热计的特性
机译:用于测微辐射热计和天线耦合测微辐射热计的五氧化二钒/钒多层薄膜的温度相关电阻特性
机译:智能测辐射热计:具有智能功能的单片测辐射热计
机译:用于亚毫米测辐射热计应用的中子嬗变掺杂(Ntd)锗热敏电阻
机译:测辐射热计材料,测辐射热计薄膜,制造测辐射热计薄膜的方法以及使用该材料的红外检测元件
机译:用于测辐射热计的电阻材料,使用该材料的用于红外探测器的测辐射热计及其制造方法
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