公开/公告号CN107002222B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580063578.4
申请日2015-11-04
分类号C23C14/22(20060101);C23C16/455(20060101);C23C16/46(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/683(20060101);H02N13/00(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:38:19
机译： 用于氮化铝（ALN）PVD工艺的气冷式最小接触面积（MCA）静电吸盘（ESC）
机译： 氮化铝（ALN）PVD工艺的气体冷却最小接触面积（MCA）静电吸盘（ESC）
机译： ALN PVD MCA ESCGAS冷却最小接触面积AREAMCA静电查克电用于氮化铝PVD工艺
