一种半导体研磨板上芯片清洗容器及其使用方法

摘要

本发明涉及一种半导体研磨板上芯片清洗容器及其使用方法，属于半导体芯片界面清洗处理的技术领域，装置包括带把手的容器本体、卡槽单元和可活动的载板台，在容器本体内设置有对称一定周期重复的卡槽单元，卡槽单元内设计载板台，将带有芯片的研磨板放置于载板台台面上，载板台两侧位于卡槽单元内，载板台两侧沿容器本体内壁上卡槽单元的空间下移，载板台的外侧一端顶在卡槽单元的底部上，载板台连同研磨板一起没入容器本体的容腔内。本发明不仅提供研磨板及其板上芯片界面清洗/腐蚀工艺处理容器，而且提供了研磨板的装载装置，提高了生产效率的同时，保证界面的清洗腐蚀处理。