压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器

摘要

一种压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器，主要包括：衬底、固定电极、可动电极、支柱、弹性梁、绝缘层和驱动结构；其中，构成传感器敏感结构的可动电极和固定电极在静止状态时位于同一平面，两者均为感应电极且互为屏蔽电极；由驱动电极和压电层构成的驱动结构驱动可动电极运动，使固定电极与可动电极产生相对位置变化；驱动结构位于感应电极外侧，驱动信号对感应电极上的信号干扰小。本发明的电场传感器可实现低电压驱动，有利于降低耦合干扰，提高传感器的信噪比；通过互屏蔽电极的设置，可提高敏感结构的感应效率，有利于提高传感器的分辨力和灵敏度；还具有微型化、结构简单、便于集成和批量化生产等特点。