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公开/公告号CN109668831B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 合肥工业大学;
申请/专利号CN201910066169.X
发明设计人 黄斌;傅腾;陈梅仙;徐筱波;张勇;卢荣胜;
申请日2019-01-24
分类号G01N21/01(20060101);G01N21/892(20060101);
代理机构11212 北京轻创知识产权代理有限公司;
代理人沈尚林
地址 230001 安徽省合肥市屯溪路193号
入库时间 2022-08-23 11:37:30
机译: 自动光学检测方法,用于检测图案晶片和非图案晶片中亚像素缺陷尺寸的宏观缺陷
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