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薄膜晶体管制造方法、TFT阵列基板及柔性显示屏

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一种薄膜晶体管制造方法及TFT阵列基板，TFT阵列基板包括柔性基板(10)、叠设于柔性基板(10)表面的栅极(12)、覆盖所述栅极(12)的栅极绝缘层(14)、叠设于所述栅极绝缘层(14)上的有源层(16)、设于柔性基板(10)表面的且位于所述栅极绝缘层(14)相对两侧的平坦层(18)、源极(19)及漏极(20)，所述平坦层(18)与所述栅极绝缘层(14)连接，所述源极(19)与漏极(20)均形成于所述有源层(16)及所述平坦层(18)上；所述源极(19)与漏极(20)之间间隔设置。还提供一种柔性显示屏。

著录项

公开/公告号CN107454979B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-26

原文格式PDF
申请/专利权人深圳市柔宇科技股份有限公司;
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申请/专利号CN201680015887.9
发明设计人赵继刚;袁泽;余晓军;魏鹏;
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申请日2016-07-20
分类号H01L21/336(20060101);H01L27/12(20060101);
代理机构
代理人
地址广东省深圳市南山区科技园科苑路15号科兴科学园A4-1501
入库时间 2022-08-23 11:37:13

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