一种用于提升硅微陀螺仪标度因数温度稳定性的系统和方法

摘要

本发明公开了一种用于提升硅微陀螺仪标度因数温度稳定性的系统和方法，该系统包括驱动闭环回路、检测闭环回路和标度因数温度补偿模块；驱动闭环回路产生硅微陀螺仪的驱动模态谐振频率ω_x和ω_x的正弦信号sinω_xt，并将ω_x和sinω_xt分别输出至标度因数温度补偿模块和检测闭环回路；检测闭环回路基于sinω_xt产生未经标度因数温度补偿的角速度信号，并输入至标度因数温度补偿模块；标度因数温度补偿模块基于ω_x对未经标度因数温度补偿的角速度信号进行标度因数温度补偿，并产生经补偿的角速度输出信号；经补偿的角速度输出信号与ω_x无关。本发明基于陀螺仪力反馈闭环检测模式实现标度因数温度补偿，能够提升陀螺仪标度因数的温度稳定性。