一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先制备双元金属共掺杂的类金刚石薄膜，然后在惰性气体保护气氛中对该双元金属共掺杂的类金刚石薄膜进行热处理。一方面双元金属掺杂和热处理能够提高薄膜的石墨化程度，降低薄膜表面能，另一方面，其中一种掺杂金属是与碳原子结合呈弱键特征的掺杂金属元素，在热处理条件下会发生析出并形成纳米团簇长大，从而能够在薄膜表面构筑微‑纳复合结构，使得薄膜具有超疏水性能。该方法简单高效、经济环保，具有良好的应用价值。