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晶片放置装置和晶片定向仪

摘要

本发明提供了一种晶片放置装置和晶片定向仪,所述晶片放置装置包括用于放置晶片的底座、两个定位挡板、凹槽定位装置、前端挡板和滑动板;所述前端挡板安装于所述底座的一端,所述前端挡板具有一缝隙;所述滑动板安装于所述底座的另一端,并可在所述底座上滑动,以改变所述滑动板与所述前端挡板之间的距离;两个定位挡板对称安装于所述滑动板上,两个定位挡板上具有刻度;所述凹槽定位装置安装于两个定位挡板之间,所述凹槽定位装置的中心与所述前端挡板的缝隙在一条直线上,所述凹槽定位装置可沿该直线滑动。解决了传统的晶片定向仪的晶片放置装置在检测不同尺寸晶片时,需要进行机台部件的调整和校准以及存在金属污染风险的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN108333298B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海新昇半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN201710051656.X

  • 发明设计人 赵向阳;陈强;肖祥凯;

    申请日2017-01-19

  • 分类号G01N33/00(20060101);

  • 代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人余昌昊

  • 地址 201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号

  • 入库时间 2022-08-23 11:34:38

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