ノンパターンウエーハ表面上のパーティクル及び欠陥の検出：トプコンのウエーハ表面検査装置

摘要

ノンパターンウェーハ用表面検査装置は、半導体プロセスの歩留まり管理基ツールとして広く使用されている。本稿では、長年にわたり同装置を開発してきたトプコンのウエーハ表面検査装置WMシリーズについて紹介する。