一种基于流场优化制备碳/碳坩埚的CVI工艺方法

摘要

本发明公开一种基于流场优化制备碳/碳坩埚的CVI工艺方法，包括两个阶段，第一阶段将含有内衬的坩埚预制体放置在高温气相沉积炉内沉积，待坩埚预制体具有足够强度后，对坩埚预制体表面进行机加工；第二阶段在机加工后的坩埚预制体外部套装一外部模具，一内部模具紧贴机加工后坩埚预制体内表面，二次进行气相沉积，外部模具上表面开有倾斜孔洞，使气流产生螺旋旋转进入外部模具与坩埚预制体间的间隙内。本发明可以尽量减少开炉次数，大量节约了成本。