一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法

摘要

本发明提供一种晶圆盒装载装置和晶圆盒装载方法。晶圆盒装载装置包括装载盘、锁扣和至少两个吸盘，所述吸盘和所述锁扣均设置于装载盘的装载面上，所述晶圆盒装载装置还包括距离传感器，所述距离传感器的数量为至少两个，且所述距离传感器分别对应不同的所述吸盘设置。本实施例中通过设置对应吸盘设置的距离传感器，这样，在利用吸盘吸附晶圆盒时，能够通过距离传感器检测吸盘与晶圆盒之间的距离，从而验证晶圆盒是否处于正常状态，降低了晶圆盒错误装载的可能性。