用于多重图案化技术的设计规则检查的方法和系统

摘要

本发明的实施例公开了一种用于多重图案化技术的设计规则检查的方法，包括：确定是否存在表示集成电路(IC)的布局的多重图案化的图案的至少五个邻近的图案中的任意两个之间的每一个间隔都小于阈值间隔的冲突图形；以及如果存在冲突图形，则修改多重图案化的图案以排除由冲突图形表示的图案，以用于IC的制造。本发明的实施例还公开了一种用于多重图案化技术的设计规则检查的系统。