一种用于四象限光电探测器位置测量的快速标定方法

摘要

本发明公开一种用于四象限光电探测器位置测量的快速标定方法，本发明方法建立了四象限光电探测器位置测量模型，使用位移测量标准装置对四象限光电探测器进行标定，通过最小二乘法求出该测量距离下的激光截面半径，代入位置测量模型实现该测量距离下的位置测量；此外本发明还提供快速求得不同测量距离下激光截面半径的方法，通过标定得到几处不同测量距离下的激光截面半径，使用Levenberg‑Marquardt法得到激光束腰半径与束腰位置，进而可得到任意位置的激光截面半径，利用四象限光电探测器测量模型，实现不同距离下的位置测量。