一种基于四象限光电探测器的对准新方法

摘要

在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法.激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间.透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探测器的光敏面.根据2个四象限探测器的输出,计算出掩模板的位置和姿态偏差,通过运动平台调整掩模板的位置和姿态,实现对准.