半导体制造工艺中更换清洗剂的方法

摘要

一种延长半导体集成电路制造工艺中使用的湿法清洗剂使用寿命的方法。通过少量添加清洗剂有效成分，使其在清洗液中的含量能维持清洗液的有效清洗性能，以及通过部分排出原有清洗液和部分注入新的清洗液，来维持清洗液中其它成分的含量。以这样的操作达到延长清洗液使用寿命的目的，减少清洗液的消耗。另一方面通过这样的方法还可以使整个工艺流程更具有可调节性，提高生产效率。