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超声波扫描技术在大功率半导体制造工艺中的应用

         

摘要

本文通过介绍超声波扫描技术的工作原理、测试方法, 利用实验对大功率器件进行现场C扫描测试分析, 来诠释其在大功率半导体器件生产过程中的重要性, 有效帮助我们判断器件焊接状况的可靠性, 进而保证出厂芯片的合格率.

著录项

  • 来源
    《内江科技》 |2019年第2期|2228|共2页
  • 作者单位

    西安电力电子技术研究所;

    西安电力电子技术研究所;

    西安电力电子技术研究所;

    西安电力电子技术研究所;

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  • 正文语种 chi
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