一种高灵敏度、高信噪比的MEMS麦克风及其制造方法

摘要

本发明提供了一种高灵敏度、高信噪比的MEMS麦克风及其制造方法。该MEMS麦克风包括从下到上设置的半导体衬底、背板和振动膜，三者相互之间通过介质层隔离；背板中形成有多个释放孔，其中，位于背板中心的释放孔为圆形孔，位于背板最外面的三圈释放孔为梯形孔。本发明所提供的MEMS麦克风，通过将背板最外面3圈小孔的形状全部改为梯形，并使三圈梯形小孔满足一定的排布方式，提高了MEMS麦克风的信噪比。同时，通过对MEMS麦克风生产过程中用到的背板光掩模和AR刻蚀掩膜的形状和尺寸进行改动，使得CMP之后在背板上方的介质层中不会形成凹陷，从而提高了振动膜的平整度，最终提高了MEMS麦克风的灵敏度。