加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置

摘要

本发明提供加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置。加热板(20)具备通电后发热的片状发热部件(200)、设置于片状发热部件的一个主面(201)侧并保护片状发热部件的保护膜(23)、设置于保护膜的与片状发热部件相反一侧的面(231)的输出电路部(25)、以及设置在保护膜与片状发热部件之间的突出部形成膜(26)。输出电路部具有突出部(251)，该突出部形成为能够与作为检查对象的热流通量传感器所具有的端子抵接。突出部形成膜在与突出部对应的位置具有突起(261)。片状发热部件、保护膜、输出电路部以及突出部形成膜一体地形成。