自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统

摘要

本发明涉及一种自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统，所述自动光学检测设备的校准方法，包括：获取修复设备已修复的基板制程缺陷的偏移信息；偏移信息包括基板制程缺陷的坐标与修复设备的第一镜头的中心的坐标之间的偏移量；统计偏移信息，得到平均偏移量；根据平均偏移量校准自动光学检测设备中的第二镜头；第二镜头用于采集基板制程缺陷的坐标，第一镜头用于根据基板制程缺陷的坐标修复基板制程缺陷。根据本发明的实施例，可以提高校准精度，缩短校准确认时间。