一种用于团簇束流源的电转向器

摘要

用于团簇束流源的电转向器，设有8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60±10cm。8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压。8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。本发明采用8个1/8球形电极上同时加上正或负电压，可以方便控制经过本发明控制体的离子束流，可以正以直线或发生偏转，可以按任意方式控制，尤其是电极的形状精确，施加的电压均衡，电控制束流的性能好。