一种多焦点衍射元件的制备方法及多焦点衍射元件

摘要

本申请涉及一种多焦点衍射元件的制备方法及多焦点衍射元件，包括：获取多焦点衍射元件的基本参数；根据所述基本参数计算各个焦段对应的台阶刻蚀深度；根据所述台阶刻蚀深度进行仿真实验论证以得到所述多焦点衍射元件。本申请提供的多焦点衍射元件减小了多焦点衍射元件的尺寸，避免了多个光学元件之间的对准问题，使其使用场景更加灵活广泛。上述多焦点衍射元件能够产生等距的多焦点，各焦点间的峰值能量均匀性、点扩散函数一致性都能通过优化得到很好的结果，可以作为高精度微纳加工系统中的重要分光元件，并且在某些特定成像光学系统中对于增大焦深有着十分重要的作用。