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用于X射线检测器的阵列基板以及包括其的X射线检测器

摘要

本公开涉及用于X射线检测器的阵列基板以及包括其的X射线检测器。阵列基板限定为有源区和焊盘区,其中焊盘区包括多个测试区,测试区包括第一测试图案和第二测试图案。第一测试图案包括:在基板上的第一栅电极;在第一栅电极上的第一有源层;在第一有源层上的第一源/漏电极;以及在第一源/漏电极上的第一数据线,并且第二测试图案包括:在基板上的第一下电极,在第一下电极上的第一光电导层;以及在第一光电导层上的第一上电极,从而以高精度测量晶体管和光检测器中的每一个的特性。

著录项

  • 公开/公告号CN107068701B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 乐金显示有限公司;

    申请/专利号CN201611260049.6

  • 发明设计人 尹载皓;

    申请日2016-12-30

  • 分类号H01L27/146(20060101);H01L23/544(20060101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人蔡胜有;董文国

  • 地址 韩国首尔

  • 入库时间 2022-08-23 11:25:27

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