一种具有氮化镁壳层的氧化亚铜/锌铜氧/氧化锌器件

摘要

本发明属于半导体器件技术领域，提供了一种具有氮化镁壳层的氧化亚铜/锌铜氧/氧化锌器件，包括氧化锌薄层、氧化亚铜薄层、锌铜氧超薄层和氮化镁层。该多层异质结构的辐射探测器，能够充分发挥氧化锌材料在辐射探测方面的耐高温耐辐照的特性，通过引入具有空穴导电特性的氧化亚铜层，克服氧化锌难以获得稳定空穴导电特性的严重劣势，进而形成基于PN结构的结型辐射探测器件。