一种FBAR谐振频率和振荡薄膜各层厚度对应关系建立方法

摘要

本发明公开了一种FBAR谐振频率和振荡薄膜各层厚度对应关系建立方法，对于具有双声学反射镜面FBAR，给出应用的要求频率，既定各层材料的厚度，而已知各振荡薄膜层材料的厚度，工作频率也是确定的。本发明通过对FBAR的谐振频率和振荡薄膜各层材料的厚度对应关系建立，使两者可进行相互推导预测。在FBAR的设计中，对确定的频率，而对各振荡层薄膜厚度进行预测，以及，对确定的各振荡层薄膜厚度，而对谐振频率进行预测，提供一种简单的，快速有效的方法，能够加快研发和生产进度。