薄膜体声波谐振器（FBAR）谐振特性的模拟分析

摘要

主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导，并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析，分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚度对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响进行了详细分析．结果表明，薄膜体声波谐振器谐振频率主要由压电材料和厚度决定但电极的影响也是很大的．在制作高频FBAR器件（5GHz以上）时，采用氮化铝作压电材料比用氧化锌作压电材料更合适．