高均匀性、短流程电子束物理气相沉积热障涂层用陶瓷靶材制备方法

摘要

本发明提供一种高均匀性、短流程电子束物理气相沉积热障涂层用陶瓷靶材制备方法，包括如下步骤：粉末原料团聚造粒、团聚造粒粉末热处理、粉末配比混合、冷等静压、排胶处理。本发明制备的陶瓷靶材具有工艺流程短、易加工等优点，所制备的靶材具有优异的抗热震性能，从而保障电子束物理气相沉积过程工艺稳定性。也可根据工艺需求，在生坯排胶后进行烧结处理获得高密度、高强度陶瓷靶材。