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二维或三维形状的分层式表示

摘要

本公开包括以分层的方式描述形状的多种方法以及这种分层式描述的使用。具体地,本公开包括一种方法,该方法包括:针对于形状拟合第一阶的一个或更多个子形状;确定所述拟合的误差;以及针对于该误差拟合第二阶的一个或更多个子形状。

著录项

  • 公开/公告号CN108292107B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;

    申请/专利号CN201680069094.5

  • 发明设计人 A·维尔马;S·C·科;A·J·范莱斯特;

    申请日2016-09-13

  • 分类号G03F7/20(20060101);G03F9/00(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王静

  • 地址 荷兰维德霍温

  • 入库时间 2022-08-23 11:24:29

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