公开/公告号CN108292107B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-08
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201680069094.5
申请日2016-09-13
分类号G03F7/20(20060101);G03F9/00(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王静
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 11:24:29
机译: 用于二维或三维形状的分层表示的光刻系统,方法和计算机程序产品
机译: 用于二维或三维形状的分层表示的光刻系统,方法和计算机程序产品
机译: 三维物体识别方法飞机,涉及检测获得的二维表示中的图像特征,并将恢复的三维形状与对象的参考表示进行比较