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公开/公告号CN106441260B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海交通大学;
申请/专利号CN201610712211.7
发明设计人 吴校生;叔晟竹;王振瑜;李栋;陈文元;
申请日2016-08-23
分类号G01C19/5656(20120101);G01C19/5663(20120101);
代理机构31236 上海汉声知识产权代理有限公司;
代理人徐红银;郭国中
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
入库时间 2022-08-23 11:23:31
机译: 单晶硅柔性带,用于绝缘体上硅(SOI)材料上的微镜和MEMS组装
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