一种生长薄膜光致发光光谱的原位检测装置及方法

摘要

本发明属于半导体材料制造设备技术领域，公开了一种生长薄膜光致发光光谱的原位检测装置，该装置包括薄膜生长反应室、脉冲激光模块、光学组件、光电开关模块、光谱仪、数据计算单元、工作信号电路；光电开关模块和光谱仪的信号输出端与数据计算单元连接，数据计算单元的输出端与光谱仪和脉冲激光模块连接，用于所述脉冲激光器在对准基片起始位置时开始周期性发光，以及控制所述光谱仪与脉冲激光器同步开始采集光谱，本发明还提供了一种在线实时检测基片光致发光光谱的方法。本发明能准确在线采集基片生长过程中的光致发光光谱，采集效率高，光谱数据准确，可以广泛应用于半导体材料在线检测领域。