一种集成亚波长金属环吸收结构的太赫兹波探测微桥结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种集成亚波长金属环吸收结构的太赫兹波探测微桥结构及其制备方法，包括微桥，所述微桥的桥面上设置有亚波长吸收结构层，所述亚波长吸收结构层上刻蚀有金属圆盘和围绕金属圆盘的同心金属环，所述微桥包括衬底、设置在衬底上的驱动电路、驱动电路上设置的电路接口、设置在驱动电路和衬底上的牺牲层、自下而上依次设置在牺牲层上的带有桥面和桥腿的支撑层、与电路接口相连接的电极引线层、可露出电极引线接口的介质层、与电极引线接口相连接的氧化钒层和覆盖氧化钒薄膜的钝化层，所述亚波长吸收结构层设在钝化层上，本发明的微桥结构能实现太赫兹波段的探测与成像，具有多频吸收、吸收率高、偏振不敏感等优势。