阴极组件、物理汽相沉积系统和用于物理汽相沉积的方法

摘要

一种用于物理汽相沉积(PVD)系统的阴极组件包括：靶标架和厚度检测器。靶标架用于保持靶标，其中，靶标具有第一主表面和第二主表面。第一主表面和第二主表面分别位于靶标架的近端和远端。厚度检测器设置在靶标架上。第一主表面的至少一部分暴露于厚度检测器，以允许厚度检测器通过第一主表面检测靶标的厚度。本发明还涉及阴极组件、物理汽相沉积系统和用于物理汽相沉积的方法。