公开/公告号CN110747448B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 江南大学;
申请/专利号CN201911067518.6
申请日2019-11-04
分类号C23C16/30(20060101);C23C16/455(20060101);B82Y30/00(20110101);B82Y40/00(20110101);B01J27/04(20060101);
代理机构23211 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司;
代理人彭素琴
地址 214000 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号
入库时间 2022-08-23 11:20:28
机译: 单原子层沉积技术生长含NI薄膜的方法
机译: 利用原子层沉积生长C轴取向ZnO薄膜的方法和使用该方法生长的光学器件
机译: 利用原子层沉积生长C轴取向ZnO薄膜的方法和使用该方法生长的光学器件