喷墨头基板、喷墨头和喷墨头基板的制造方法

摘要

本发明涉及一喷墨头基板，一喷墨头和制造所述喷墨头基板的方法。所述喷墨头基板包括一支撑结构和至少一个设置在支撑结构上的发热电阻器以产生热能来喷射墨水且由金属和碳的氮化物制成。金属和碳的氮化物以化学式M_xC_yN_z表示，其中M是金属，X在20至80的范围内，Y在3至25的范围内，Z在10至60的范围内，且X+Y+Z＝100。而且，此发热电阻器的电阻率为300～2000μΩ·cm。