公开/公告号CN100397041C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200410068145.1
申请日2004-11-12
分类号G01C19/56(20060101);B81B7/02(20060101);G01C25/00(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:00:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-06-25
授权
授权
2005-06-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-04-06
公开
公开
机译: 具有双压电晶片致动和压阻读数的微悬臂梁传感器
机译: 基于两轨压阻微悬臂梁的非光学爆炸传感器
机译: 基于带有微刻图的SOI结构的压阻式压力传感器。