一种多物理场耦合作用下反射镜光学表面误差的获取方法

摘要

本发明提供了一种多物理场耦合作用下反射镜光学表面误差的获取方法，首先，通过定义矢高参考点以及利用反射镜光学表面中心初始矢高量在加载约束条件的情况下始终保持不变的特性，通过任意离散点变形前矢高量以及任意离散点变形后等效矢高量，从而得到任意离散点变形后在矢高方向真实变形量，通过该真实变形量可得到精准的反射镜光学表面误差，提高了光学表面误差分析计算精度，避免错误或不可信结果的产生。其次在有限元软件中得到修正的光学表面所有离散点坐标值，提高了光学表面误差的获取精度。