公开/公告号CN109900200B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN201910183242.1
申请日2019-03-12
分类号G01B9/02(20060101);
代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2022-08-23 11:17:24
机译: 基于光栅剪切干涉仪的光学成像系统波像差检测方法
机译: 基于光栅剪切干涉法的光学成像系统的波前测量方法
机译: 基于光栅剪切干涉仪检测光学成像系统的波前像差的方法