基于正交双轴激光干涉仪的二维光栅校准系统误差分析

摘要

为了提高二维光栅系统的校准精度,建立了国家二维光栅校准标准装置并开展了试验研究.基于双轴正交激光干涉仪的二维光栅校准方法,建立了共平面运动结构的二维光栅校准试验装置,开发了基于C#的上位机自动控制测量程序实现自动校准;分析装置运动过程中几何误差对二维光栅校准结果的影响,提出角误差修正的黑箱模型,并使用MATLAB对安装平面作最小二乘拟合.