静电悬浮转子微惯性传感器及其制造方法

摘要

一种静电悬浮转子微惯性传感器及其制造方法，用于微机电系统技术领域。本发明微惯性传感器包括下衬底层，中间金属结构层和上衬底层，中间金属结构层由金属转子和周边径向电极组成，下、上衬底层分别和径向电极相键合形成转子腔，轮状的金属转子处于转子腔的中心，与下、上衬底上的轴向电极和周边径向电极之间分别形成轴向电极间隙和径向电极间隙。制备方法：包括下衬底层的工序、中间金属结构层的工序、上衬底层的工序和键合工序，或包括下衬底层的工序、上衬底层的工序、径向电极的工序、金属转子的工序和微装配与键合工序，给出了基于UV-LIGA技术的制造方法。本发明结构简单、制造成本低，可以同时测量二轴角速度和三轴线加速度。