一种具有高载流子浓度和高电子迁移率的铝酸镧/钛酸锶异质结及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种具有高载流子浓度和高电子迁移率的LaAlO₃/SrTiO₃异质结及其制备方法和应用。该LaAlO₃/SrTiO₃异质结以SrTiO₃为衬底，通过激光分子束外延生长方法在SrTiO₃衬底表面制备LaAlO₃与SrTiO₃交替呈现的量子阱结构外延层。制备的量子阱结构的LaAlO₃/SrTiO₃异质结具有高载流子浓度(≥10¹⁵cm^‑2)、高迁移率(≧10⁴cm²/Vs)等特点，有望能够取代常规的半导体材料满足晶体管和电子自旋器件等电子器件的使用要求。