一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构

摘要

本发明公开了一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，包括衬底层、镜片层和牺牲层，牺牲层图形化沉积与消除后，镜片层与衬底层部分相连，部分悬空，衬底层包括衬底材料、衬底导电层、衬底图形化金属层和衬底保护层，镜片层包括镜片承载层、镜片金属层和镜片补偿层，衬底图形化金属层、镜片金属层与引线接口相连，基于本发明结构制造的光调配器件，能够实现光线聚焦、反射、散射等多种功能，本发明可应用于太阳光平面聚焦、智能门窗阳光调节、光开关等多个领域，在新能源利用及绿色环保方面有着非常好的应用前景。