公开/公告号CN110146479B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201910527415.7
申请日2019-06-18
分类号G01N21/64(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人宋丽荣
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 11:15:06
机译: 自支撑薄膜传感器,其生产方法及在气体检测和气相色谱中的应用。
机译: 自支撑薄膜传感器,其生产方法及在气体检测和气相色谱中的应用。
机译: 使用声发射传感器的地埋式动态行为检测装置及其制造方法,其中应用了一种结构,该结构利用声发射材料围绕波导管的外围