公开/公告号CN110146479A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201910527415.7
申请日2019-06-18
分类号G01N21/64(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人宋丽荣
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2024-02-19 12:45:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/64 申请日:20190618
实质审查的生效
2019-08-20
公开
公开
机译: 自支撑薄膜传感器,其生产方法及在气体检测和气相色谱中的应用。
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