一种能够调节内外压差的气相腐蚀腔体及利用其进行气相腐蚀的方法

摘要

本发明公开一种具有能够调节内外压差的气相腐蚀腔体，包括上部腔体、下部腔体和升降控制装置，所述升降控制装置与所述上部腔体相连接，控制所述上部腔体的上下移动，所述下部腔体固定，在所述下部腔体设置有腔体进气口和腔体出气口，其中还包括：腔体抽力控制装置，其与所述下部腔体的所述腔体出气口相连接，对气相腐蚀腔体的内外压差进行调节。本发明公开的能够调节内外压差的气相腐蚀腔体，能够保持腔体内外压力的平衡，保护非金属材质的腔体免受毁损。本发明还公开一种利用能够调节内外压差的气相腐蚀腔体对晶圆进行气相腐蚀的方法。