公开/公告号CN107610998A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏鲁汶仪器有限公司;
申请/专利号CN201710599816.4
发明设计人 许开东;
申请日2017-07-21
分类号H01J37/32(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11511 北京得信知识产权代理有限公司;
代理人袁伟东;袁建水
地址 221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
入库时间 2023-06-19 04:23:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20170721
实质审查的生效
2018-01-19
公开
公开
机译: 可调节内外压差的气相腐蚀腔及利用气相腐蚀腔的气相腐蚀方法
机译: 能够调节内部压力差和气相腐蚀方法的气相腐蚀腔
机译: 具有可调节的内外压差的蒸气腐蚀腔以及使用该蒸气腐蚀腔的方法