公开/公告号CN108121065B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;
申请/专利号CN201710375454.0
申请日2017-05-24
分类号G02B26/08(20060101);B81B7/02(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 意大利阿格拉布里安扎
入库时间 2022-08-23 11:13:44
机译: 具有压电致动的MEMS装置,包括该MEMS装置的投射式MEMS系统以及相关的驱动方法
机译: 具有压电致动的MEMS装置,包括该MEMS装置的投射式MEMS系统以及相关的控制方法
机译: 具有压电致动的MEMS装置,包括该MEMS装置的投射式MEMS系统以及相关的驱动方法