具有含偏心距补偿的双编码器设置的旋转记录器

摘要

诸如电子束记录器的一种旋转记录装置配备了双编码器设置。第一编码器用作心轴马达控制器并位于心轴的第一端。第二编码器安装于与记录表面相邻的转盘处并用作用于在基板上记录图案的位置、速率或时钟源。第二编码器的安装偏心距相对于更精确安装的心轴控制编码器来测量，并由数字时钟发生系统利用数字锁相环进行补偿。